X射线荧光光谱分析(X Ray Fluorescence，XRF)由激发源（X射线管）和探测系统构成。X射线管产生入射X射线（一次X射线），激发被测样品。受激发的样品中的每一种元素会放射出二次X射线，并且不同的元素所放射出的二次X射线具有特定的能量特性或波长特性。探测系统测量这些放射出来的二次X射线的能量及数量。然后，仪器软件将探测系统所收集到的信息转换成样品中各种元素的种类及含量。X射线照在物质上而产生的次级 X射线被称为X射线荧光。

  设备特点：

（1）分析速度高：测定用时与测定精密度有关，但一般都很短，2～5分钟就可以测完样品中的全部待测元素；

（2）X射线荧光光谱跟样品的化学结合状态无关，而且跟固体、粉末、液体及晶质、非晶质等物质的状态也基本上没有关系（气体密封在容器内也可分析）；

（3）非破坏分析：在测定中不会引起化学状态的改变，也不会出现试样飞散现象，同一试样可反复多次测量，结果重现性好；

（4）X射线荧光分析是一种物理分析方法，所以对在化学性质上属同一族的元素也能进行分析；

（5）分析精密度高；

（6）制样简单，固体、粉末、液体样品等都可以进行分析。